TUD  »  Forschung  »  Forschungsinformationssystem
Anzeigen

Verweis auf www.hzdr.de

Verweis auf www.di-uni.de

Wissenschaftliche Abschlussarbeit - Detailansicht

Bereich Ingenieurwissenschaften - Fakultät Maschinenwesen - Institut für Technische Logistik und Arbeitssysteme - Professur für Technische Logistik

Entwicklung eines Verfahrens zur Zustandsbewertung und -Prognose des Verschleißzustandes von Antriebsrädern für Halbleitertransportfahrzeuge
Art der Abschlussarbeit
Diplomarbeit
Autoren
  • Länger, Sören-Valentin
Betreuer
  • Prof. Dr.-Ing. habil. Thorsten Schmidt
  • Dipl.-Ing. Artem Zhakow
Abstract
Halbleiterprodukte durchlaufen in einer vollautomatisierten Produktion über 1000 Prozessschritte in unterschiedlichen Bearbeitungsstationen. Regelmäßige Transportschritte sind erforderlich und werden von einem Deckentransportsystem, dem so genannten Overhead Hoist Transfer System (OHT-S), durchgeführt. Um die zuverlässige Funktion des Systems zu garantieren und Ausfälle zu vermeiden, werden dessen Fahrzeuge, die Overhead Hoist Vehicle (OHV), zeitbasiert gewartet. Der Kostenaufwand einer solchen präventiven Überwachung ist jedoch enorm. Im Widerspruch zum hohen Automatisierungsgrad der Halbleiterindustrie werden die Fahrzeuge manuell überprüft. Die vorliegende Arbeit forciert deshalb eine zustandsbasierte, ressourcenschonende Überwachung der OHV. Diese soll in Zukunft automatisiert stattfinden. Als essentielle Komponente für den Fahrzeugantrieb stehen die Antriebsräder der Fahrzeuge im Fokus. Ihre Funktionalität ist für einen reibungsfreien Betrieb besonders relevant. Es werden Kriterien zur Zustandsermittlung und -bewertung der Antriebsräder entwickelt. Ferner erfolgt die Beschreibung der Zustandsentwicklung in Abhängigkeit von der zurückgelegten Strecke eines OHV mittels eines mathematischen Verschleißmodells. Dieses erlaubt Prognosen über Restlaufzeiten und Wartungstermine eines Antriebsrades basierend auf dessen aktuell gemessenem Zustand.
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
  • Experimentelle Bestimmung von Belastungen und Beanspruchungen
  • Ingenieurdatenmanagement für Konstruktion und Berechnung
Schlagwörter
Halbleitertransportsysteme, Fahrzeuge, Antriebsräder, Verschleißmessung
Berichtsjahr
2019
Stand: 03.09.2019