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Wissenschaftliche Abschlussarbeit - Detailansicht

Bereich Ingenieurwissenschaften - Fakultät Maschinenwesen - Institut für Technische Logistik und Arbeitssysteme - Professur für Technische Logistik

Konzepte zur Materialbereitstellung in Halbleiterfabriken
Art der Abschlussarbeit
Diplomarbeit
Autoren
  • Stoll, Philipp
Betreuer
  • Prof. Dr.-Ing. habil. Thorsten Schmidt
  • Dr.-Ing. Sebastian Rank
Abstract
In Halbleiterfabriken zum Materialtransport eingesetzte Overhead-Hoist-Transport- Systeme können vermehrt zum Engpass des gesamten Produktionssystems werden, wodurch sich die Forderung ergibt, mithilfe der Organisation der Materialtransporte, diese möglichst effizient zu gestalten. Ein Teil dieser Organisation ist die Auswahl des Zielorts eines Materialtransports.
Ziel der Arbeit ist, Möglichkeiten bei der Auswahl dieses Zielorts aufzuzeigen und zu vergleichen. Hierzu werden zunächst theoretische Aspekte aus der Literatur herangezogen. Dabei ergeben sich mehrere Kriterien bei der Auswahl dieses Zielorts und dem Zeitpunkt der Zielauswahl.
Die Wahrscheinlichkeit, dass der als nächstes durchzuführende Bearbeitungsschritt für ein Waferlos korrekt vorhergesagt wird, wird dabei als mögliches und bedeutendes Kriterium herausgestellt und in einem anschließenden Simulationsexperiment untersucht. Dabei kann ein Einfluss dieser Wahrscheinlichkeit auf die erwähnte Zielauswahl bestätigt werden.
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
  • Entwicklung von Methoden und Werkzeugen zur Planung logistischer Prozesse in Unternehmen
Schlagwörter
Halbleiterfertigung, Materialbereitstellung
Berichtsjahr
2021
Stand: 21.07.2021