@conference{aufsatz16654,
    affiliation = {Professur für Optoelektronische Bauelemente und Systeme},
    title = {Einsatz translatorischer MOEMS-Aktoren für FTIR-Spektrometer},
    journal = {Mikrosystemtechnik Kongress, 15.-17.10.07 in Dresden},
    pages = {485--488},
    publisher = {VDE Verlag GmbH Berlin-Offenbach},
    year = {2007},
    peerreview = {Nein},
    edition = {keiner},
    author = {Sandner, T. and Schenk, H. and Lakner, H. and Kenda, A. and Scherf, W.}
}