@article{aufsatz20460,
    affiliation = {Professur für Halbleitertechnik},
    title = {Oberflächenwellen-Strukturen in Cu-Damaszentechnologie},
    journal = {Vakuum in der Forschung und Praxis},
    pages = {4},
    year = {2007},
    peerreview = {Nein},
    volume = {19},
    doi = {http://},
    author = {S., Menzel and D., Schmidt}
}