@conference{aufsatz20470,
    affiliation = {Professur für Halbleitertechnik},
    title = {Atomlagenabscheidung (ALD) mit der Clusteranlage FHR – ALD 300},
    journal = {Silicon Saxony Tag, Dresden},
    year = {2007},
    peerreview = {Nein},
    volume = {ohne Abdruck},
    doi = {http://},
    author = {Albert, M.}
}