@article{aufsatz20931,
    affiliation = {Professur für Halbleitertechnik},
    title = {Atomlagenabscheidung als Werkzeug für die Nanotechnologie},
    journal = {Vakuum in der Forschung und Praxis},
    pages = {7--10},
    year = {2008},
    peerreview = {Nein},
    volume = {20(2008)1},
    doi = {http://},
    author = {Albert, M. and Bartha, J.W.}
}