@conference{aufsatz20952,
    affiliation = {Professur für Halbleitertechnik},
    title = {Herstellung und Anwendung von Mikrostrukturen auf Silizium als Reflexionselemente für die ATR-FTIR-Spektroskopie},
    journal = {Bruker Optics Anwendertreffen, Ettlingen, 11.-12.11.2008},
    year = {2008},
    peerreview = {Ja},
    doi = {http://},
    author = {Künzelmann, U. and Schumacher, H. and Estel, K. and Bartha, J.W.}
}