@conference{aufsatz26480,
    affiliation = {Professur für Halbleitertechnik},
    title = {Dynamische VHF-PECVD für die großflächige Abscheidung von amorphen und mikrokristallinem Silizium auf Glas- und Foliensubstraten},
    journal = {Silicon Saxony Day, Dresden},
    keywords = {amorphes und mikrokristallines Silizum},
    year = {2009},
    peerreview = {Nein},
    author = {Strobel, C.}
}