@conference{aufsatz27184,
    affiliation = {Professur für Halbleitertechnik},
    title = {Einsatz spezieller Koppelstrukturen für die FT-IR-spektroskopische Schichtcharakterisierung an Si-Wafern mittels abgeschwächter Totalreflexion},
    journal = {ANAKON, 17.-20.03.2009 (Kurzreferate)},
    keywords = {Koppelstrukturen, FT-IR-spektroskopische Schichtcharakterisierung, Totalreflexion},
    pages = {288--288},
    year = {2009},
    peerreview = {Nein},
    author = {Schumacher, H. and Künzelmann, U. and Bartha, J.W.}
}