@conference{aufsatz27187,
    affiliation = {Professur für Halbleitertechnik},
    title = {Herstellung und Anwendung von mikrostrukturierten  Siliciumwafern als Reflexionselemente für die Untersuchung chemisch-physikalischer Oberflächenprozesse mittels ATR-FTIR-Spektroskopie},
    journal = {14. AKES-Seminar, 06.02.2009},
    keywords = {Siliciumwafern als Reflexionselement, mikrostrukturierte  Siliciumwafern, chemisch-physikalischer Oberflächenprozess, ATR-FTIR-Spektroskopie},
    year = {2009},
    peerreview = {Nein},
    author = {Künzelmann, U.}
}