@article{aufsatz28835,
    affiliation = {Professur für Mikrosystemtechnik},
    title = {Ersatz gesucht für dünne Schichten, Teil 2: Die dritte Dimension im Chip Packaging},
    journal = {Journal Mechatronik FM, Ausgabe 10/2007},
    keywords = {Chip Packaging, dünne Schichten},
    pages = {60--63},
    year = {2007},
    peerreview = {Ja},
    author = {Hanke, A. and Landgraf, R. and Luniak, M. }
}