@conference{aufsatz50520,
affiliation = {Professur für Optoelektronische Bauelemente und Systeme},
title = {Modellgestützte Bewegungsführung von quasistatischen Mikroscannern},
journal = {Tagungsband Fachtagung Mechatronik 2013},
keywords = {Microscanner technical optics},
pages = {141--146},
location = {Aachen, Germany},
isbn = {3-86130-958-0},
year = {2013},
peerreview = {Ja},
openaccess = {Nein},
volume = {6.-8.3.2013},
author = {Schroedter, R. and Roth, M. and Sandner, T. and Janschek, K.}
}