@article{aufsatz6097,
affiliation = {Professur für Halbleitertechnik},
title = {Ultradünne funktionale Schichten für die Mikroelektronik und andere Anwendungen},
journal = {Dresdner Transferbrief “Nanotechnologie” 2/05},
pages = {8--8},
location = {Dresden},
year = {2005},
peerreview = {Nein},
edition = {Neuerscheinung},
author = {Bartha, J. W. and Wenzel, C.}
}