@conference{aufsatz6117,
    affiliation = {Professur für Halbleitertechnik},
    title = {Barriere- und Schutzschichten auf TaSi Basis für Anwendungen in der Mikroelektronik, Sensor- und Solartechnik},
    journal = {6. Wörlitzer Workshop Funktionelle Schichten – Dünne Schichten mit Barrierefunktion, 3. Juni 2005},
    location = {Dresden},
    year = {2005},
    peerreview = {Nein},
    author = {Heuer, H. and Wenzel, C.},
    editor = {Europäische Forschungsgemeinschaft Dünne Schichten e.V., }
}