@conference{aufsatz69325,
    affiliation = {Professur für Halbleitertechnik},
    title = {Einfluß von Darstellungsmethoden auf die Morphologie und Mikrosruktur Dünner Schichten},
    journal = {Morphologie und Mikrostruktur Dünner Schichten und deren Beeinflussung: Workshop am 12. März 2015 in Dresden; Tagungsband},
    keywords = {-},
    year = {2015},
    peerreview = {Nein},
    openaccess = {Nein},
    volume = {EFDS, 2015},
    author = {Wenzel, C.}
}