@book{buch1875,
    affiliation = {Professur für Mikrosystemtechnik},
    title = {Elektromechanische Systeme in Mikrotechnik und Mechatronik},
    keywords = {Mikroelektromechanische Systeme (MEMS), Sensor-Aktor-Systeme, elektrische Wandler, elektrodynamische Wandler, elektromechanische Wandler, elektrostatische Wandler, magnetische Wandler, mechan.-akust. Wandler, piezoelektrische Wandler,piezomagnet. Wandler },
    year = {2009},
    pages = {454},
    publisher = {Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2000, 2009},
    url = {DOI 10.1007/978-3-540-89320-2},
    edition = {Neuerscheinung},
    isbn = {978-3-540-89317-2},
    author = {Ballas, R.G. and Pfeifer, G. and Werthschützky, R.}
}